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Détails sur le produit:
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| Taille maximale du produit: | Des plaquettes de 8 pouces et moins | Dimensions de l'équipement: | 970 mm x 1450 mm x 2024 mm (largeur x profondeur x hauteur) |
|---|---|---|---|
| Gamme de température de chauffage: | Température ambiante ~ 800 °C (thermocouple) 800 °C ~ 1250 °C (pyromètre infrarouge) | Taux de chauffage: | Wafer nu à 150 °C/s 20 °C/s support de carbure de silicium |
| Uniformité de température: | Pour le calcul de la température de l'air, le débit d'air doit être supérieur ou égal à: | Répétabilité du contrôle de la température: | ± 1°C |
| Durée à température constante: | Programmable selon les exigences | ||
| Mettre en évidence: | Amélioration de la production par traitement thermique rapide,Système de recuit à traitement thermique rapide |
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Le traitement thermique rapide est un four de recuit rapide à plaquette vertical semi-automatique de 8 pouces, qui utilise deux couches de lampes halogènes infrarouges comme sources de chaleur pour le chauffage.La cavité interne du quartz est isolée et isolée, et la coque extérieure de la cavité est en alliage d'aluminium refroidi à l'eau, assurant un chauffage uniforme du produit et une basse température de surface.
Le traitement thermique rapide adopte le contrôle PID, et le système peut rapidement ajuster la puissance de sortie des lampes halogènes infrarouges, ce qui rend le contrôle de la température plus précis.
Chauffage du tube de lampe à halogène à infrarouge à double couche, refroidissement rapide de l'azote;
L'agencement groupé des tubes de lampes développé indépendamment pour améliorer l'uniformité de température;
en utilisant le contrôle par algorithme PID, réglage en temps réel de la puissance de sortie de la lampe;
Les comptes utilisateurs sont divisés en trois niveaux d'autorisations pour une gestion pratique des informations;
L'interface principale du logiciel peut afficher en temps réel des paramètres tels que le gaz, la température, le degré de vide, etc.;
Le système enregistre automatiquement les informations pertinentes pour chaque processus;
Reconnaître automatiquement les messages d'erreur et protéger automatiquement l'appareil en cas d'anomalie:
Détection de surchauffe: la température de l'alliage d'aluminium refroidi à l'eau sur la coque extérieure de la chambre dépasse 70 °C.
Détection du thermocouple: pendant le processus du système, la valeur de surveillance du thermocouple ne correspond pas à la valeur définie.
Détection de chauffage: puissance de sortie anormale pendant le chauffage.
Détection du verrouillage de la porte du four: vérifier si le verrouillage de la porte est verrouillé avant chaque processus.
Détection du gaz: pression du gaz dépasse la plage réglée, pression du gaz est trop élevée ou trop basse.
Détection du débit d'eau: le débit d'entrée est inférieur à la valeur par défaut.
Détection de fuite: détectée.
Commutateur d'arrêt d'urgence: arrêter immédiatement le processus et couper la source de chaleur.
Réchauffement par implantation ionique
Réglage rapide après revêtement ITO
oxyde
Croissance des nitrites
Recuit des alliages de silicides
procédé d'arsenure de gallium
Alliages rapides à contact ohmique
Réflux oxydatif
Autres procédés de traitement thermique rapide des semi-conducteurs
| RTP-SA-8 est un appareil électronique | |
| Taille maximale du produit | Des plaquettes de 8 pouces et moins |
| Dimensions de l'équipement | 970 mm x 1450 mm x 2024 mm (largeur x profondeur x hauteur) |
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Plage de température de chauffage |
Température ambiante ~ 800 °C (thermocouple) 800 °C à 1250 °C (pyromètre infrarouge) |
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taux de chauffage |
Plaquettes nues à 150 °C/s Porteur de carbure de silicium à 20 °C/s |
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Uniformité de température
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< 500 °C, homogénéité ≤ ± 5 °C ≥ 500 °C, homogénéité ≤ ± 1% |
| Répétabilité du contrôle de la température | ± 1°C |
| Durée à température constante | Programmable selon les exigences |
Configuration standard
| Numéro | Nom | Modèle de spécification | Description des performances et des paramètres | Quantité | Unité |
| 1 | Traitement thermique rapide | RTP-SA-8 est un appareil électronique |
Dimensions extérieures:970*1450*2024 (largeur x profondeur x hauteur) |
1 | ensemble |
| Les États membres | Corps du four | LT-08 | Chambre en alliage d'aluminium doré refroidie à l'eau | 1 | ensemble |
| (2) Les | Chambre sous vide | SQ-08 | Cavité de quartz de haute pureté | 1 | ensemble |
| (3) Les produits | Tubes à halogène | D8 à 20 | 2 kW/pièce | 33 | pièce |
| Le nombre de personnes | Paramètre de détection | SJ-08 | Quartz de haute pureté (8 ") | 1 | ensemble |
| Les produits | Anneaux de graphite | --- | graphite | 1 | ensemble |
| (6) | Thermocouple pour mesure de température | Le numéro de référence est: | Type K ±1,5°C ou ±0,4%t | 2 | ensemble |
| (7) | Ordinateur industriel | Le nombre d'heures de travail | dvantech contrôle industriel, 10ème génération i5 1 jeu | 1 | ensemble |
| (8) | écran | / | 21Écran de 5 pouces | 1 | pièce |
| (9) | CFC |
MC-1601L ((10L), Le produit doit être soumis à un contrôle de conformité. |
Le produit doit être présenté à l'échantillon. Réserve d'un gazoduc pour un total de 5 gazoducs |
5 | ensemble |
| 10 | Chiller | Le KBE-5A | Puissance de réfrigération: 14,8 kW | 1 | pièce |
| 11 | pompe à vide | SP600 | Vitesse de la pompe 522 L/min | 1 | ensemble |
| 12 | Pyromètre infrarouge | / | / | 1 | ensemble |
2.3.Consommables communs
| Numéro | Nom | Modèle de spécification | Unité | Cycle de maintenance |
| 1 | Anneaux de graphite | RTP-SiC-8 | Résultats de l'évaluation | Remplacement endommagé |
| 2 | Plaque de quartz | RTP-QC-8 est un | Résultats de l'évaluation | Remplacement endommagé |
| 3 | Paramètre de détection | RTP-QS-8 | Résultats de l'évaluation | Remplacement endommagé |
| 4 | Tubes à quartz | RTP-QT-8 | Résultats de l'évaluation | Remplacement endommagé |
| 5 | Tubes de lampes | RTP-HT-8 | Résultats de l'évaluation | 2000 heures |
| 6 | Rings à outils | RTP-Ou-8 | Résultats de l'évaluation | une année |
| 7 | Un thermocouple de type K | Le KT-800 | Résultats de l'évaluation | 3 mois |
| 8 | Maintenance de la pompe à vide | / | Résultats de l'évaluation | une année |
| 9 | Vérification de la CPM | / | Résultats de l'évaluation | une année |
Personne à contacter: Xiwen Bai (Ciel)
Téléphone: +8613372109561
